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百人會(huì)論壇2020|伍理勛:車規(guī)級(jí)功率半導(dǎo)體器件技術(shù)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)

作者:百人會(huì) 2020-01-12 15:35:59 來源:新能源汽車網(wǎng)

  2019悄然逝去。2020年,對(duì)于新能源汽車產(chǎn)業(yè)來說至關(guān)重要。這一年,國(guó)家財(cái)政補(bǔ)貼將徹底退出,新修訂的"雙積分"政策將正式實(shí)施,國(guó)際巨頭各細(xì)分市場(chǎng)的電動(dòng)車型將批量進(jìn)入市場(chǎng)。

  在這樣的關(guān)鍵時(shí)期,中國(guó)新能源汽車產(chǎn)業(yè)將如何戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型,迎接市場(chǎng)與消費(fèi)者的考驗(yàn)?下一階段,國(guó)家的產(chǎn)業(yè)政策是何走向,將對(duì)汽車變革產(chǎn)生什么樣的影響?車企如何理解調(diào)整期的新形勢(shì),如何開創(chuàng)性降低成本、提升產(chǎn)品質(zhì)量與服務(wù),贏得用戶信任和青睞?產(chǎn)業(yè)界如何協(xié)同行動(dòng)創(chuàng)新,推動(dòng)電動(dòng)汽車市場(chǎng)再度實(shí)現(xiàn)增長(zhǎng)?新造車勢(shì)力與創(chuàng)新企業(yè)如何判斷當(dāng)下局勢(shì),如何調(diào)整度過寒冬?能源企業(yè)如何調(diào)整和轉(zhuǎn)型,電動(dòng)汽車基礎(chǔ)設(shè)施如何更好地支撐行業(yè)發(fā)展?驅(qū)動(dòng)未來汽車的關(guān)鍵性技術(shù)有哪些?智能網(wǎng)聯(lián)汽車如何加速產(chǎn)品的商業(yè)落地?產(chǎn)業(yè)發(fā)展十年推動(dòng)的多種技術(shù)路線如何取舍?……諸多問題,亟待方向與答案。

  2020年1月10-12日,以"把握形勢(shì)聚焦轉(zhuǎn)型引領(lǐng)創(chuàng)新"為主題,由中國(guó)電動(dòng)汽車百人會(huì)精心策劃第六屆年度論壇--中國(guó)電動(dòng)汽車百人會(huì)論壇(2020)在北京釣魚臺(tái)國(guó)賓館正式召開,會(huì)議繼續(xù)秉持"傳遞權(quán)威信息、廣泛展開討論、促進(jìn)溝通合作"的目標(biāo),試圖幫助業(yè)界人士梳理分析產(chǎn)業(yè)形勢(shì),探討及回應(yīng)產(chǎn)業(yè)關(guān)切的問題,尋找今后3-5年產(chǎn)業(yè)調(diào)整的方向及路徑。

  本屆論壇會(huì)期由2天擴(kuò)展為3天,舉辦2場(chǎng)全體大會(huì)及16場(chǎng)專題論壇。為回應(yīng)業(yè)界面臨的困惑與焦慮,大會(huì)將廣泛邀請(qǐng)超過200位國(guó)內(nèi)相關(guān)部委領(lǐng)導(dǎo)、國(guó)外政府機(jī)構(gòu)代表、行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)、專家學(xué)者發(fā)表演講,預(yù)計(jì)吸引超過3000位行業(yè)人士參會(huì)。

  活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng),中車時(shí)代電動(dòng)汽車股份有限公司首席專家伍理勛進(jìn)行演講,以下為演講速記:

  大家好!我今天闡述一下對(duì)車規(guī)級(jí)功率半導(dǎo)體器件的認(rèn)識(shí)和理解。

  主要從以下四個(gè)方面:

  電動(dòng)汽車首先是電動(dòng)化,功率半導(dǎo)體是汽車電動(dòng)化最核心的器件,我們說是電動(dòng)汽車之芯,是實(shí)現(xiàn)能量轉(zhuǎn)換的最核心的部件。以一個(gè)車為例,一個(gè)撤一臺(tái)控制器,用一個(gè)六單元的IGBT會(huì)用到36個(gè)芯片、240個(gè)元胞,是一個(gè)大的集成器件。我們談功率半導(dǎo)體的時(shí)候都會(huì)講到芯片和模塊,下面的匯報(bào)思路也是按照芯片和模塊這個(gè)思路來匯報(bào)的。

  從IGBT芯片發(fā)展現(xiàn)狀和發(fā)展過程可以看出來,經(jīng)過多次技術(shù)迭代以后,從平面柵、構(gòu)槽柵、到精細(xì)構(gòu)槽柵到逆導(dǎo)結(jié),性能都在不停提升和發(fā)展過程中。目前我們看到這幾個(gè)企業(yè)相關(guān)產(chǎn)品代次的對(duì)于關(guān)系,這其中包括中車的產(chǎn)品。

  除了IGBT以外,現(xiàn)在碳化硅也是目前行業(yè)研究的熱點(diǎn),國(guó)內(nèi)外都在做相關(guān)的技術(shù)研究,我們與國(guó)外的技術(shù)還是有代的差異的,包括Cree已經(jīng)到第三代,中國(guó)還是第一代的水平。產(chǎn)業(yè)體系方面,國(guó)外6英寸、8英寸,中國(guó)可能還在4英寸的水平。芯片以外就是模塊。模塊就是把芯片封裝成一個(gè)部件,現(xiàn)在我們?cè)谲囈?guī)級(jí)的線上可以看到大概有三種模塊形式:第一種標(biāo)準(zhǔn)模塊,第二種是分離機(jī)械加雙面冷卻,第三種是集成化組件,都有一些相關(guān)的車企或者零部件公司都有相應(yīng)的方案。

  標(biāo)準(zhǔn)模塊。我們看多比較有代表性的就是英飛凌,富士,國(guó)內(nèi)中車也有相應(yīng)的產(chǎn)品,主要特征就是Pin—Fin結(jié)構(gòu)等。目前的水平單模塊可以做到100多千瓦的水平。另外一個(gè)模塊技術(shù)路線就是雙面冷卻技術(shù)路線,主要是可以降低熱阻,比普通的工業(yè)級(jí)模塊熱阻低30%到50%,平面封裝形式可以降低雜散參數(shù)、提高可靠性,下面的圖展示了雙面冷卻模塊發(fā)展的技術(shù)路線。

  碳化硅的封裝形式,目前大概兩種,一個(gè)是標(biāo)準(zhǔn)的TO封裝,還有就是類似于IGBT的封裝形式,TO封裝和標(biāo)準(zhǔn)模塊封裝各有優(yōu)缺點(diǎn),這里簡(jiǎn)單列了一下,而且可以看到主要的半導(dǎo)體廠家都已經(jīng)推出了碳化硅器件,包括中車。各種功率半導(dǎo)體器在汽車領(lǐng)域的應(yīng)用我們列了一張表,商用車、乘用車、車載便流器可能有不同的應(yīng)用要求。比如說商用車,大部分目前為止還是平板散熱這種方式,乘用車雙面冷卻和Pin—Fin是主要的技術(shù)路線,電源產(chǎn)品可能更多是TO封裝這種形式,未來我們認(rèn)為碳化硅、高效散熱、集成化是未來主要的技術(shù)路線和方向。

  現(xiàn)在車規(guī)級(jí)器件還有很多技術(shù)難點(diǎn)需要我們攻克。首先芯片角度,車對(duì)芯片的要求,我們概括有以下三個(gè)方面:更低成本、更高功率密度、更高工作結(jié)溫,因?yàn)檫@是車的應(yīng)用環(huán)境所決定的。

  圍繞解決成本的問題,主要思路是把晶圓做到,從4英寸、6英寸,到8英寸、到12英寸,都是降低成本的手段。大尺寸晶圓可以提升產(chǎn)品的一致性,以8英寸、12英寸為例,單片數(shù)量會(huì)增加125%。為了提高功率密度,首先是芯片性能的提升,到現(xiàn)在電流能力從最早的200安培/平方厘米,現(xiàn)在可以到350,未來可以到500。圍繞提高功率密度還有一種方法,精細(xì)溝槽刪技術(shù)做到亞微米級(jí)以后,損耗進(jìn)一步降低,也是提高功率的有效手段。還有把晶圓做薄,越薄熱阻越低、損耗越低,從85uM降到65uM,損耗可以降低20%。

  把芯片集成也可以提供功率密度,一般知道一個(gè)IGBT都會(huì)有一個(gè)二極管,我們把二極管和IGBT結(jié)合在一起,叫逆導(dǎo)IGBT,還把傳感也結(jié)合在一起,可以降低損耗、提高功率密度,同時(shí)也可以提高芯片的智能化程度。

  為了提高IGBT的環(huán)境適應(yīng)性,提高工作溫度也是必須解決的問題,提高溫度的適應(yīng)性主要兩個(gè)方案,一個(gè)是采用新型的終端材料,另外一個(gè)是采用新型器件。

  模塊發(fā)展速度比芯片的發(fā)展速度慢一些,主要面臨一些問題,我們列了兩個(gè)方面:“電感—熱組”邊界效應(yīng)的設(shè)計(jì)問題,還有熱功率密度提升帶來的可靠性問題。針對(duì)這些問題我們也提出了一些解決方案:第一,機(jī)電的設(shè)計(jì),主要解決問題是降低熱組,同時(shí)把參數(shù)進(jìn)一步優(yōu)化。第二,讓芯片的靜態(tài)、動(dòng)態(tài)的均流性進(jìn)一步提升,讓溫度分布更加均勻。

  另外,提高功率密度帶來的可靠性問題,主要體現(xiàn)在三個(gè)方面:芯片正面的互聯(lián)線、綁定線的可靠性,還有芯片背面焊接的可靠性,還有材料的適應(yīng)性問題。針對(duì)第一個(gè)問題,綁定性的可靠性,我們現(xiàn)在主要解決方案是采用平面鍵合的方案,可以有效的提高連接端子互聯(lián)的可靠性。還有一個(gè)方案是正面金屬化,通過燒結(jié)技術(shù)提高焊接的可靠性,我們有一個(gè)數(shù)據(jù)可以讓熱循環(huán)壽命提高60多萬次的水平,標(biāo)準(zhǔn)3萬次就可以。還有一個(gè)提高可靠性的方案柔性互聯(lián)技術(shù),可以提高端子的可靠性。還有一個(gè)方案是銀/銅燒結(jié)技術(shù),可以把熱組降低25%,可靠性可以成倍提升。

  提高IGBT環(huán)境適應(yīng)性的四個(gè)方面,在灌封材料、導(dǎo)熱硅子都在做相應(yīng)溫度的提升,能耐受到175度的環(huán)境要求。

  另外一個(gè)提高可靠性的方案,提高散熱性能?,F(xiàn)在普遍采用的方案就是以下兩種,一個(gè)是直接水冷,另外一個(gè)就是雙面散熱技術(shù),都可以降低熱組、提高產(chǎn)品的可靠性。

  除了芯片、模塊的一些難點(diǎn)以外,在國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)化方面也面臨一些問題。首先是一些制造設(shè)備、關(guān)鍵材料主要依靠進(jìn)口,另外是人才的短缺也是制約技術(shù)進(jìn)步的一個(gè)重要方面。

  下一代IGBT發(fā)展趨勢(shì),我們主要談以下幾個(gè)方面。

  第一,超結(jié)技術(shù)。超結(jié)IGBT技術(shù)可以比傳統(tǒng)IGBT技術(shù)在損耗方面進(jìn)一步降低,同時(shí)可以提高M(jìn)OSFET的耐壓性能。

  第二,新型半導(dǎo)體技術(shù),其中最主要的就是碳化硅的技術(shù),可以使系統(tǒng)都在高溫、高效、高速下運(yùn)行,可以進(jìn)一步優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)參數(shù)。

  第三,氮化鉀,但是氮化鉀這個(gè)外延生成的形式很難大電流,變流器功還是更多使用碳化硅。

  第四,硅基IGBT和SIC MOSFET結(jié)合在一起的功率半導(dǎo)體技術(shù),理論上可以工作在更高的頻率,而且損耗還低。

  前面講到行業(yè)的情況,還是把中車的情況給大家做一個(gè)簡(jiǎn)要匯報(bào)。

  中車IGBT研究有十多年的歷史,但是半導(dǎo)體的研究有幾十年的歷史。汽車級(jí)IGBT研究是從2010年開始的,通過這幾年研發(fā)已經(jīng)推出了很多應(yīng)用于汽車的IGBT。芯片能力從2008年并購(gòu)Dynex開始已經(jīng)到了第六代。模塊封裝方面,我們也做了多種形式,滿足不同環(huán)境的要求,包括半橋、全橋的模塊都有,也有相應(yīng)的雙面冷卻模塊,最大電流可以做到1000安培。產(chǎn)品型譜里面,涵蓋了30千瓦到200千瓦的產(chǎn)品需求。

  現(xiàn)在主要講幾個(gè)典型的產(chǎn)品:這個(gè)內(nèi)部叫S2模塊,可以開發(fā)出滿足50多千瓦到70千瓦的功率等級(jí),用于A級(jí)車以下的乘用車產(chǎn)品,這是我們相應(yīng)的IGBT和相應(yīng)產(chǎn)品的實(shí)物圖。還有一個(gè)是S3(+)模塊,可以做到150千瓦到200千瓦的水平。商用車領(lǐng)域我們也推出了1200V、600A的M1模塊和HPD模塊,用于了相應(yīng)的車型。目前為止我們所有這些產(chǎn)品市面上能夠使用的數(shù)量,在我們內(nèi)部配套數(shù)量超過5萬支IGBT。

  在碳化硅研究方面,我們承擔(dān)了國(guó)家的一個(gè)項(xiàng)目,現(xiàn)在已經(jīng)開發(fā)出1200V、400A的模塊,同時(shí)開發(fā)出功率密度已經(jīng)做到30.8千瓦的水平,這是我們中期檢查的實(shí)際情況。

  總的來說,新能源汽車對(duì)IGBT的需求是與時(shí)俱進(jìn)的,在不停地提升,對(duì)功率密度、可靠性、成本方面都提出越來越高的要求。我們認(rèn)為IGBT還是有相當(dāng)長(zhǎng)的生命周期,同時(shí)碳化硅發(fā)展速度可能會(huì)超出預(yù)期。依托我們中國(guó)新能源汽車大的平臺(tái),我們認(rèn)為通過行業(yè)的共同努力,IGBT技術(shù)從跟隨到領(lǐng)跑這種跨越,應(yīng)該在大家努力下指日可待。

  謝謝大家!

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